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Anhand von Messgeräten ist es möglich unterschiedliche Parameter zu bestimmen. Häufig ermittelte Parameter stellen die Schichtdicke, die Säurestärke und die Topographie dar.
Die Schichtdickenmessung bestimmt die Dicke von Beschichtungen auf Oberflächen. Folgende Verfahren kommen hierbei zur Anwendung: das Wirbelstromverfahren, die Ultraschallprüfung, die Kapazitätamessung, die Massebestimmung, optische Messverfahren sowie die Durchstrahlung und die Absorption. Die Wirbelstromprüfung wird vor allem zur Bestimmung von metallischen Schichten eingesetzt. Die Kapazitätsmessung kommt dagegen bei isolierenden Schichten und Lacken zum Einsatz. Dagegen können optische Messverfahren nur bei transparenten Schichten angewendet werden. Bei der Massebestimmung wird die Masse pro Fläche während der Schichtabscheidung mit beschichtetem Schwingquarz bestimmt.
Die Säurestärke ist abhängig von der Fähigkeit eines Stoffes ein Proton (H+) an einen Reaktionspartner zu übertragen. Diese Reaktion wird als Protolyse bezeichnet. Die Säurestärke ist somit das Ausmaß dieser Fähigkeit und hängt wiederum von der Fähigkeit eines Reaktionspartners ab, das Proton aufzunehmen. Zur Ermittlung der Säurestärke wird meist ein Vergleich mit einem Standardparameter herangezogen. Hierbei wird in der Regel Wasser eingesetzt.
Die Topographie ist eine Messtechnik zur Beschreibung der Oberflächenbeschaffenheit. Dabei werden nicht nur die geometrische Gestalt, sondern auch die physikalischen und die chemischen Eigenschaften von technischen Oberflächen oder Mikrostrukturen untersucht. Die Beschreibung der Topografie erfolgt meist mittels mechanischer und optischer Profilometern oder Rasterkraftmikroskopen. Literatur•http://de.wikipedia.org/w/index.php?title=Schichtdickenmessung&oldid=79105781 (Abgerufen: 31.03.11).•http://de.wikipedia.org/w/index.php?title=Messger%C3%A4t&oldid=86997222 (Abgerufen: 31.03.11).•http://de.wikipedia.org/w/index.php?title=S%C3%A4urekonstante&oldid=85295547 (Abgerufen: 31.03.11).
