Firma:                   Keyence

Modell:                VK 9710

Kommentar:        Dokumente deut.

Technische Daten

1. Der Betrachtungs-/Messbereich ist das minimale Sichtfeld.

2. Bei Messung eines Standard-Höhenunterschieds von 2 µm mit dem 150x Objektiv.

3. Bei Messung eines Standard-Höhenunterschieds von 2 µm mit dem 100x Objektiv.

4. Bei Messung der Linienbreite von 1 µm auf der KEYENCE Testkarte mit dem 105x Objektiv im Linien-Peak-Modus (Bildmittelung: 8 Mal)

5. Bei Messung der Linienbreite von 1 µm auf der KEYENCE Testkarte mit dem 100x Objektiv im Linien-Peak-Modus (Bildmittelung: 8 Mal)

Abmessungen:

Systemkonfiguration

- Elektromechanischer XY-Objekttisch für die Bildzusammenführung (Optional)

- Objekttisch für 300 mm Wafer (Optional)

- Wegen eines Objekttisches für große Messobjekte setzen Sie sich bitte mit KEYENCE in

   Verbindung

- Software für die Betrachtung

- Software für die Bildzusammenführung (Optional)

- Software für die Analyse

- Software für die Partikelanalyse (Optional)

Messprinzip

Die 3D-Laserscan-Farbmikroskope verwenden zwei verschiedene Lichtquellen: eine „kurzwellige Laserlichtquelle“ und eine „weiße Lichtquelle“ zur Beleuchtung. Informationen über Farbe, Lichtintensität und Höhe, die für scharfe, farbige, lichtintensive und relieforientierte Bilder benötigt werden, können durch den gleichzeitigen Einsatz beider Lichtquellentypen gewonnen werden.

(Die kurzwelligen Laserstrahlen erkennen die Intensität des reflektierten Lichts sowie die Höhe).

Der Laserstrahl kommt ans einer punktförmigen Lichtquelle. Das 3D-Laserscan-Farbmikroskop tastet seinen Betrachtungsbereich mit Hilfe des optischen X-Y-Scansystems ab und rastert die Bilder dabei mit einer Auflösung von 1.024 x 768 Pixel. Das Lichtempfangselement erkennt das von jedem einzelnen Pixel reflektierte Licht, Durch Verschieben des Objektivs entlang der Z-Achse und wiederholtes Scannen wird für jede Z-Position die Intensität des reflektierten Lichts erfasst. Es werden daraus Höheninformationen gewonnen, die Lichtintensität wird erkannt und gleichzeitig wird auf die Z-Position für die Intensität des reflektierten Lichts fokussiert. Somit erfasst das 3D-Laserscan­Farbmikroskop Daten zur Generierung von omnifokalen Lichtintensitätsbildern mit großer Tiefenschärfe sowie Für Vertikalbilder.

(CCD-Kamera erfasst die Farbinformationen).

Das von des weißen Lichtquelle stammende reflektierte Licht wird mit erkannt. Die CCD-Kamera erfasst Pixel für Pixel die Farbinformationen an dem mit der Laserlichtquelle ermittelten Peak (Brennpunkt): Das 3D- Laserscan-Farbmikroskop ermöglicht daher Betrachtungen in Echtfarben, wozu REMs nicht in der Lage sind.