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Objektnummer	B00020299
Numéro d'identification	020299
Nom de l'objet	Jeol JSM-5400
Statut	Archiv

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manufacturer : Jeol

model: JSM 5400

annotation : Dokumente engl.

The following illustrations and descriptions refer to the instrument model and are drawn from brochures. They do not represent the scope of delivery. Please refer to the text of the offer for the exact scope of delivery.

DESCRIPTION, SPECIFICATIONS AND INSTALLATION REQUIREMENTS

The JSM-5400 Scanning Microscope can be used for observation of the entire Area of large sized specimens up to 5-inch in diameter by rotating them. The whole series of operation including vacuum evacuation, image observa-tion, focusing, and photographing have been automated. Moreover, provision of digitally processed still image allows very easy observation of images even in a bright room, making the JSM-5400 outstanding in operability.

Another feature ot the JSM-5400 is that an energy dispersive X-ray spectro-meter (EDS) and a wavelength dispereive X-ray speetrometer (WDS) can he attached to the apecimen chamber at the same time. The JSM-5400 la a-high performance multipurpose scanning electron microscope capable of extending its utility from morphological observation to elemental analysis.

Specifications

Performance

Reso/ution: 4.0 nm (at 30 kV, WD = 8 mm),

SEI (secondary electron image) mode

Magnifteation: x15 (WD = 48 um) to 200,000 (25 steps)

Digital indication

Image modes: Secondary electron image (SEI)

Backscattered electron image (BEI)

EOS (electron optical system)

Aceelerating voltage

(Aee.V.): 0.5 to 30 kV

0.5 to 3 kV, 0.1 kV/step (26 steps)

5 to 30 kV, 5 kV/step (6 steps)

Hysteresis elimination function is linked for Acc.V. change

Electron gun filament: Precentered W hairpin filament

Cartridge type

Hinge type gun open/close mechaniam

Filament monitor Built-in

Gun bias

AUTO mode: Automatic selection of the following 2 ranges:

For high Acc.V. (2.1 to 30 kV)

For low Acc.V. (0.3 to 2 kV)

MAN mode: Continuously variable manually

Alignment: Electromagnetic deflection type

Lens system: 3-stage

Zoom condenser lens (CL): 2-stage

Objective lens (OL): single-stage

OL aperture Variable type (3-step)

Continuous heating type

Fine position adjustalle

Focus wobbler: Built-in (usable in TV mode)

Focusing: Push-Button and knob type

Manual, and automatic fdicusing device (AFD) built-in

Automatic focus tracer (AFT) buflt-in.

Stigmator: 8-pole electromagnetic type

Manual, and automatic astigmatism correction device (ASD) built-in

Stigmator memory built-in

Specimen tilt correction:

Scanning coil:

0 to approx. 8° correctable

Dynamic Focusing Device(DFU) built-in

2-etage electromagnetic deflection type

Magnification control: Automatic magnification corrector (MAC) built-in

Viewing field fine

shift : Electromagnetic type

±10µm (at 30 kV, WD 20 mm) in all directions by JOYSTICK control

Probe current range : 10^-12 to 10^-6 A

Specimen Stage

Type Eucentric goniometer

Specimen movements

X direction shift: 80 mm

Y direction shift: 40 mm

Tilt: -10 to +90°

Rotation 360° (endless).

Working distance (WD): 8 to 48 mm continuously variable

Digital indication an LCD by Z sensor

Specimen size: 10 mm dia. x 5 mmh, 10 mm dia. x 10 mmh

32 mm dia. x 5 mmh, 32 mm dia. x 10 mmh

51 mm dia. x 5 mmh, 51 mm dia. x 10 mmh

76 mm dia. x 5 mmh, 76 mm dia. x 10 mmh

10 mm dia. x 10 mmh x 20 pcs.

Specimen exchang: Draw-out type

Slide type mechanism for loading/unloading of specimens

Detectors

SE/BE detector Consists of a collector, scintillator, light

guide and a photomultiplier tube

Scanning System

Scanning modes: PIC (frame scan)

TV (frame scan)

LSP (line scan)

Scanning speed

For observation: 0.27, 0.58, 2.88, 9.6 s/frame, TV scan

(TV scan för SEI only)

For photographing: 50 Hz: >> on LCD ... 28.8 s/frame

on LCD ... 86.4 s/frame

60 Hz: >> on LCD 24 sfframe

on LCD ... 72 s/frame

Display System

Magnification display: x15 to 200,00 0

(On LCD, and CRT in PIC1 mode only)

Observation CRT: 2 One, 9-inch green CRT

Frame size: 135 x 18G mm (TV mode)

Image quality control

Manual control: Rapid exposure system (display on CRT)

Auto control: Automatic contrast and brightness control

(ACB) built-in

Observation condition display

Upper line on LCD : Accelerating voltege

Magnification

Working distance

Film number

ACB linkage indication (A; ON/OFF)

Photo speed (or >>)

Lower line on LCD : Evacuation sequence

Warning/Fhoto monitor/Check data

Observation CRT: Digital diegay in the P/C1 mode only

Accelerating voltage

Magnification (O N/OFF)

Micron marker with value

Film number

Photo Recording System

Exposure meter: Rapid exposure system (displayed on CRT)

Shutter: Automatic shutter built-in

Photo monitor Digital indication on LCD

Data recording

Data display: ON/OFF selectable (on CRT and Photograph)

Image on character

Base: ON/OFF selectable

Data contents: Accelerating voltage

Magnification

Micron marker with value

Film number (4-digit: manual set, and 2-digit: manual/auto set)

Data display modes All data ON

Magnification OFF

Micron marker (with value) ON only

Camara for scanning

image (option): Manual and automatic shutters built-ln

MP-35030: For 6 x 7 roll film (photo/CRT magnification

ratio : 0.5)

MP-35040: For instant pack film (0.75)

MP-35050: For 35 mm roll fi/m (0.25)

MP-35060: For instant 4 x 5 film (1.0)

MP-35070: For Polaroid auto film (0.85)

Recording CRT: One, 9-inch green CRT

Image Frame Store System

Memory capacity

Number of pixels: 512 x 512 (512 x 480 for image)

Number of gray

scale steps: 256

Number of frames One (Video graphic printer with 4-frame expand

function is optionally available)

Still image display

CRT One, 9-ineh green CRT (EIA, interlace scan type)

Frame size: Approx. 128 x 166 mm

Vacuum System

Control: Fully automatic sequence control

( electromagnettc valves used)

Evacuation sequence is indicated on LCD

Ultimate pressure: Approx. 7 x 10^-4 Pa (5 x 10^-6 Torr)

Eva euation time: Approx. 2.5 min

Vacuum pumps: One, 420 lit ./ s oil diffusion pump with water cooling baffle

One, 100 lit ./ min oil rotary pump (RP)

Vacuum gauge One, Pirani gauge

Preesure is indicated as a % on LCD.

Checkers and Safety Devices

Checkers

Auto checkers: 5 warniug indication on LCD

Manual checkers: 8-item indication on LCD (including 2 items

for optional devices)

Safety devices: Protective devices are built-in for power and

water failures, and pressure increase.

Others

Ports for X-ray

Measurement: Two, ene each for optional WDS (wavelength

dispersive X-ray spectrometer) and EDS (energy

dispersive X-ray spectrometer)

TV output terminals : Two BNC-R connectors (75 ohms)

(For TV mode ond still image)

TV output signal: TV mode; EIA or CCIR

Still image; EIA

Composite, positive polarity

1 Vp-p, H =15.75 kHz , V = 60 Hz

Service outlet: One, 100 V AC, 2 A

Installation Requirements

Power Supply and Cooling Water

Power supply: Single-phase 100 V( ±10%) AC, 50/60 Hz, 2.5 kVA

(voltage drop at 2.5 kVA should be within 3%).

Grounding terminal One, 100 ohms or /ess.

Cooling water

Faucet: One, 10 to 12 mm O.D.

Drain: One, 25 mm I.D. or more

Flow rate: 2 lit ./ min.

Pressure: 0.05 to 0.2 lea .

Temperature: 20±5°C.

(At SEM's water outlet should be 35°C or less.)

Environment

Temperature: 20+5°C.

Humidity 60% or less.

Stray magnetic field : 0.3 µT or less.

Floor vibration: 2 µm or less at 5 Hz (in X, Y and Z directions).

Floor space: 2,500(W) x 2,300(D) x 1,800(H) mm or more.

Dimensions and Weight

Unit: mm & kg

	Width	Depth	Height	Weight	Remarks
Column console	750	900	1,485	137	Standard composition
Operation console	650	900	1,220	183	ditto
Image frame store system	292	600	880	40	ditto

Installation Layout

Unit: mm

Note 1: Fig. 1 shows a typical installation layout for the JSM-5400 Scanning Microscope with an optional XCS (X-ray counting system) of X-ray spectrometer.

Be sure to maintain service areas at the left and rear sides of the microscope even if only a small layout space is available.

Note 2: Install the microscope well apart from facilities producing vibrations or electromagnetic waves (such as roads, husy passages, railroads, elevators, air conditioners and their air outlets, transmission lines, etc.).

Note 3: This microscope does not require any blackout curtain.

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Jeol JSM-5400

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